化学气相沉积法是指利用加热、等离子激励或者光辐射等能源，在反应室内通过化学反应将气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的技术。化学气相沉积法的英文原意是化学蒸汽沉积(Chemical Vapor Deposition)，简称CVD，这是因为CVD法的很多反应物在通常条件下是液态或固态，经过汽化成蒸汽再参与反应的。CVD的古老原始形态可追溯到古人类生火后在岩壁上产生的黑色的碳层，在中国古代炼丹术的“升炼”技术也包含着CVD技术的影子。CVD法现已广泛应用于材料制备中，例如制备晶体及晶体薄膜、晶须制备、多晶材料膜和非晶材料膜以及纳米粉末的制备等[1,2]。CVD法目前不管是在科学研究领域还是实际的生产应用环节中都扮演着重要的角色，是材料相关专业学生必须掌握的重要技能之一，相关实验训练应得到重视。

　　1 CVD实验装置搭建

　　2 CVD实验装置在实验教学中的应用

　　3 结语

　　实践证明，CVD实验装置可有效工作，同时具备制备更加量化可控、过程更加简便安全、实用性强的优点。通过该实验装置开设的碳纳米管制备实验课可帮助学生不仅局限于课本上CVD及碳纳米管的理论认知，更能实际掌握其制备的流程及方法，促进理论教学与实践教学的结合。

　　参考文献

　　[1] 石晓东,王伟,尹强,李春静.化学气相沉积制备大面积高质量石墨烯的研究进展[J].材料导报A:综述篇,2017,31(3):136-142.

　　[2] 韩同宝.化学气相沉积装置与设备[J].化学工程与装备,2011(3):136-137.

　　[3] 郭永红,姜鹏,王阳,丁开翔,孙保民.气体流量对热解火焰法合成碳纳米管的影响[J].人工晶体学报,2014(11):2830-2834.

　　[4] 张建辉,郑艳真.化学气相沉积低温各向同性热解炭微观结构及沉积机制[J].复合材料学报,2016(8):1812-1818.

　　[5] Shuangyin Wang, Xinsheng Zhao, Thomas Cochell, and Arumugam Manthiram. Nitrogen-Doped Carbon Nanotube/Graphite Felts as AdvancedElectrode Materials for Vanadium Redox Flow Batteries [J]. The Journal of Physical Chemistry Letters, 2012(3): 2164-2167.

蒋婷婷 张曰理 宋树芹 欧阳红群 中山大学材料科学与工程学院